윤용훈, 김수본, 윤건욱, 윤준보, “점착 문제 없이 낮은 동작 전압을 가지는 MEMS 스위치를 만들기 위해 제작이 완료된 후 상/하판 사이 간격을 줄이는 영구 변형 방법에 대한 연구”, 제20회 한국 MEMS 학술대회, Poster FP-3-50

KMEMS_윤용훈